Bocas de cerâmica resistentes a altas temperaturas para temperaturas de processo de 1200 graus C na indústria de LED

Bicos de Cerâmica de Resistência a Altas Temperaturas para Temperaturas de Processo de 1200°C na Indústria de LED

Especialmente desenvolvido para processos de fabricação de LED, este produto é fabricado usando nitreto de silício de alta pureza (Si₃N₄) a 99,8% através de sinterização por pressão de gás de precisão. Apresentando ultra-alta limpeza, resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão para atender aos rigorosos requisitos de equipamentos MOCVD.

Aplicações na Fabricação de LED

• Equipamentos MOCVD: Distribuição precisa da fonte MO e gás NH₃

• Crescimento epitaxial: Injeção uniforme de gás em câmaras de reação

• Fabricação de chips: Sistemas de fornecimento de gás de proteção

• Processo de embalagem: Atomização por spray de fósforo

• Equipamentos de teste: Controle de gás para inspeção óptica

Vantagens da Indústria de LED

✓ Ultra-alta limpeza: Conteúdo de íons metálicos <1ppm
✓ Resistência a altas temperaturas: Suporta temperaturas de processo de 1200°C
✓ Zero contaminação por gás: Sem emissão de partículas
✓ Controle preciso do fluxo: Precisão do fluxo de ±1%
✓ Vida útil prolongada: Suporta mais de 5000 ciclos térmicos

Parâmetros Específicos de LED

Processo de Fabricação Limpa

1. Preparação do material:

   • Pó nano (D50≤0,3μm)

   • Moagem de bolas sem poeira (sala limpa Classe 10)

2. Formação e sinterização:

   • Prensagem isostática (200MPa)

   • Sinterização ultralimpa (ambiente Classe 100)

3. Pós-processamento:

   • Limpeza por plasma (descontaminação da superfície)

   • Limpeza ultrassônica com água DI

4. Embalagem:

   • Embalagem a vácuo duplo

   • Sacos limpos Classe 4 ISO

Diretrizes de Uso

⚠️ Instalação: Operação em sala limpa Classe 100 necessária
⚠️ Controle de gás: Use gases de alta pureza a 99,999%
⚠️ Gerenciamento de temperatura: Taxa de aquecimento ≤5℃/min
⚠️ Manutenção: Teste de vazamento de hélio a cada 500 horas

Serviços Especializados

• Garantia estendida: 18 meses

• Teste de limpeza: Teste de emissão de partículas gratuito

• Resposta rápida: Suporte técnico em 12 horas

• Otimização do processo: Simulação do campo de fluxo de gás

FAQ

P: Como garantir a pureza do fornecimento da fonte MO?
R: Tripla proteção:
① Passivação da superfície Si
② Embalagem limpa Classe 100
③ Limpeza por plasma antes da instalação

P: Lidando com o entupimento do bico?
R: Recomendado:
• Limpeza ultrassônica de 200W + água DI
• Sem limpeza mecânica com haste
• Serviço de limpeza profissional disponível

P: Compatibilidade com diferentes camadas epitaxiais?
R: Opções personalizáveis:

• Estruturas de matriz de vários orifícios

• Projetos de tamanho de furo gradual

• Configurações de ângulo especial

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