Desempenho de Isolamento de Bases de Cerâmica de Alumina para Equipamentos de Medição de Precisão e Inspeção Industrial

Performance de isolamento Base cerâmica de alumínio para equipamento de medição de precisão e inspecção industrial

Estas bases de suporte cerâmico de alumina são fabricadas usando 99,6% de material de alta pureza Al2O3, projetado especificamente para equipamentos de medição de semicondutores, ópticos e de precisão.de potência não superior a 50 W.01mm/m e um coeficiente de expansão térmica de 7,2×10−6/°C, os produtos mantêm uma estabilidade dimensional excepcional em temperaturas extremas (-60°C~1500°C) e ambientes de vácuo (≤10−8Pa).

Áreas de aplicação essenciais

• Equipamento de semicondutores: Etapas de wafer litográfico, bases de câmara de reactor de gravação

• Óptica de precisão: Plataformas de referência de interferômetro a laser, suportes para espelhos de telescópios espaciais

• Instrumentos analíticos: Etapes de amostragem por microscópio eletrónico, suportes de fontes de iões do espectrómetro de massa

• Inspecção industrial: bases de máquinas CMM, tocadiscos de ensaio de redondeza

• Nova Energia: Suportes de pilhas de combustível, suportes de equipamento de revestimento fotovoltaico

Matriz de vantagem de desempenho

Especificações técnicas

Processo de Fabricação de Precisão

1. Processamento de pó: pó de alta pureza de 0,1 μm com granulação por pulverização

2. Processo de formação: Prensagem isostática (300 MPa) combinada com usinagem verde CNC

3. Tecnologia de sinterização: Sinterização por gradiente a 1700°C em atmosfera de hidrogénio

4. Mecânica de precisão:

   • Máquinas e aparelhos para a produção de alumínio

   • Poluição magnetorreológica (precisão de superfície λ/20@632,8 nm)

5. Processamento em Sala Limpa: Montagem concluída na sala limpa da classe 100

6. Inspecção completaInterferômetro laser + inspecção dimensional completa CMM

Orientações de instalação

• Requisitos de instalação:
  ✓ Utilize uma chave de torque (valor recomendado 1,5 ± 0,2 N·m)
  ✓ Utilize ferramentas específicas para salas limpas
  ✓ Preajuste recomendado de correspondência térmica (gradiente de temperatura < 2°C/min)

• Limitações ambientais:
  Evite o contacto com ácido fluorídrico
  Evitar choques térmicos > 200°C/min
  Não adequado para ambientes de oxidação contínua > 1600°C

Compromisso de serviço

• Apoio técnico: Análise de esforço gratuita da FEA

• Resposta rápidaServiço acelerado de 72 horas

• Gestão da rastreabilidade: Registros de produção completos de 10 anos

• Apoio à certificação: Documentos de certificação SEMI/FDA/ISO fornecidos

Perguntas frequentes

P: Como garantir a correspondência térmica com componentes de carburo de silício?
A: Disponível o projeto de transição do gradiente CTE (ajustável 7,2-4,5×10−6/°C)

P: Dimensões máximas processáveis?
A: Limite técnico actual 500×500×100 mm (requer ferramentas especiais)

P: A modificação do condutor é suportada?
A: Versões antistáticas personalizáveis com resistência superficial 104-1010Ω

P: Como é garantida a limpeza a nível da bolacha?
A: Esterilização final com VHP (peróxido de hidrogénio vaporizado)